Mikroskopová zařízení jsou nejčastěji samostatné systémy, které se používají k měření různých předmětů. Nejčastěji jsou mikroskopy uzpůsobeny pro jeden nebo několik podobných typů výrobků tak, aby výrobky šly do zařízení dobře upnout a rozsah měření odpovídal jejich rozměrům.
Součástí mikroskopu je kamera, která slouží ke snímání měřeného předmětu. Zařízení umožňuje vykonávat přednastavené pohyby a průběžně snímá a ukládá snímky z kamery s vysokou přesností. Snímky jsou uloženy na disk počítače i s informacemi o poloze a použity pro následné vyhodnocení.
Pro pomalé děje jsou používané kamery USB 3, nebo GigE (Gigabit ethernet), kde lze získávát jednotky až desítky snímků s HD rozlišením za sekundu a jsou vhodné pro většinu běžných měření. Pro rychle snímané děje nebo kamery s ultra vysokým rozlišením UHD se používají rychlé kamery CameraLink nebo CoaXPress.
Vyhodnocení může být buďto manuální nebo automatické. Software může poskytovat měření vzdáleností, úhlů, zachytávání na hrany.